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日本芝浦機(jī)電shibaura帶式油旋轉(zhuǎn)真空泵RP系列 由于采用了兩階段系統(tǒng)，終壓力很低。 小巧輕便 減少振動(dòng)和噪音 易于維護(hù)的結(jié)構(gòu) 由于帶有氣鎮(zhèn)閥（蒸汽處理閥），因此可抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放。

日本芝浦shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵 DRP系列 由于采用了兩階段系統(tǒng)，終壓力很低。 采用電機(jī)直接連接方式，結(jié)構(gòu)緊湊，輕便，粉塵少，可以保持清潔的環(huán)境。 減少振動(dòng)和噪音 易于維護(hù)的結(jié)構(gòu) 由于帶有氣鎮(zhèn)閥（蒸汽處理閥），因此可以抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放

日本nlc內(nèi)置混合器氣泵，微量點(diǎn)膠機(jī)5 DUAL SERVO 這是使用2軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的KAPPA5的變體。在保持緊湊性的同時(shí)，可用性和成本優(yōu)勢(shì)得到了改善。

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